核心技術
高精度電源
真空係統
工藝菜單管理係統
高精度溫控係統
籽晶控製 、隔離組件
突發情況處理組件
內部平衡控製係統

產品優勢
            自動閉環控製
            曆史數據庫
            故障分級排除
            高穩定熱場
            工藝菜單式管理
            精確溫度控製

解決問題
    手工操作
    成品率低
    一致性差
    位錯密度大