高溫爐 ：包括石墨熱場高溫爐 、金屬熱場高溫爐及其它形式的高溫度 ，包含真空高溫爐及正壓高溫爐 ，如各種矽材料生長爐 、藍寶石長晶爐 、高壓浮區生長爐 、SiC生長爐 、陶瓷燒結爐 、石英熔爐等 。

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